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  • 真空镀膜设备工件除气的好处
  • 本站编辑:海盐鑫中岳电子科技有限公司发布日期:2019-05-30 12:15 浏览次数:

真空状态是帮助真空镀膜设备运作的环境,尤其是要高真空度的设备,一般在工业上需要达到高真空度,抽气系统的作用是尤为突出的,但除了抽气系统外,在真空镀膜设备运行的过程中,还有一点就是,工件的除气。

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一般有很多工件本身内部有着许多的空气和水分等,这些东西都会随着设备加热时被排放到真空室中,不能达到预计的真空效果,更有甚者,有些气体带有毒性成分,直接损害到真空室内部机械结构,造成设备不能正常运作。另外,在镀膜过程中,由于工件内气体加热膨胀,容易使已经镀上的膜层裂开,当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关,像塑料等容易膨胀的,机率就比较高,像金属等硬质的,机率就比较低,但也不能忽视,因此工件的除气是非常必要的。

一般人们使用的工件除气方法是烘烤,依靠加热把工件内的气体、水分有效地排出,在镀膜前,抽气的同时,对工件进行加热,当工件内水分和气体由于加热而放出后,随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不一样的除气措施,有效控制工件内部气体与水分排放,提高镀膜的稳定性和均匀性。


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